科技博览
走进调试车间里,研发人员正在调试一种银色圆筒设备——磁悬浮分子泵。这看似普通的装置,被称为半导体制造“真空心脏”的关键设备,在过去完全依赖进口。
前不久,在杭州市科技局组织的媒体采风调研活动中,记者来到了杭州昆泰磁悬浮技术有限公司(以下简称“杭州昆泰”)近距离接触到磁悬浮分子泵。
“可别小看这个不起眼的泵。”杭州昆泰研发总监韩雪笑着说,“它打破了国外企业的技术垄断,实现了我国磁悬浮分子泵国产化率‘零的突破’。”
什么是磁悬浮分子泵?它相当于一种真空获得设备,如同一个“超级清洁工”,将封闭空间里的气体分子快速“清扫”出去,让空间达到几乎没有气体分子的状态。
这与日常生活中,人们使用真空收纳袋的原理有些类似,人们通过手动抽气泵或者电动抽气泵,按压时,使抽气泵内的压力大于收纳袋内气压,从而将袋内的空气强制排出。
而磁悬浮分子泵则是让泵内转子高速旋转,借助分子碰撞和拖曳作用,将气体分子,从真空室的一端输运到另一端,从而实现抽气。
韩雪介绍,在制造芯片过程中,需要将腔体保持极高的真空度。“传统机械泵就像‘油烟机’,轴承中的润滑油会污染芯片;而我们的磁悬浮分子泵就像‘无叶风扇’,可以使轴承完全悬浮,进行无接触运行。”
磁悬浮分子泵主要依赖磁悬浮轴承技术,研究人员利用磁悬浮原理,使得分子泵内的转子,在运转过程中处于悬浮状态,避免了机械接触,减少了摩擦和磨损,从而实现更快的旋转速度。
“要快速抽取真空,叶轮需在高速旋转下保持稳定,这是研发过程中的一大难题。” 韩雪说,叶轮是磁悬浮分子泵里的关键部件,主要用于抽气。叶轮尺寸较大,却要实现每分钟 24000次的高速旋转,对控制要求极高。
为此,团队经过两年的反复迭代验证,最终攻克难题,确保叶轮在高强度旋转下依然保持稳定。
“我们不仅解决了‘卡脖子’问题,还实现了部分性能反超。”韩雪介绍,如KTP-304磁悬浮分子泵抽速达350-570L/s,比国际主流产品高出20%以上,价格却只有进口设备的70%-80%。
在昆泰的展厅里,陈列着各种“磁悬浮+”产品:磁悬浮纺机电机、磁悬浮氢气循环泵、磁悬浮厨电风机……这些创新的背后,离不开团队的努力。
杭州昆泰“脱胎”于实验室,核心研发团队源自北京航空航天大学(以下简称“北航”),公司拥有 80 余人的技术团队,其中博士及博士后共33 人,具备近 20 年的设计、研发及应用经验。
目前除了半导体领域,这项源自北航院士团队的磁悬浮技术,还在科研、精密仪器、工业、氢能源汽车及家用等领域大显身手。
“我们从高校出来创业,对技术钻研较深,但对政策了解有限。”韩雪坦言,“政府各级部门经常来企业调研,主动送来惠企政策,指导项目申报,还积极帮助技术人员解决落户安家问题,让大家能全身心投入创业和技术攻关。”
良好的创业氛围,给企业有了继续向下扎根的信心。“接下来,将继续在原有的基础上,完善产品性能,持续完善产品矩阵,在高端装备自主化的道路上坚定前行。”韩雪表示。
【我们尊重原创,也注重分享。版权原作者所有,如有侵犯您的权益请及时联系,我们将第一时间删除。分享内容不代表本网观点,仅供参考。】