科技博览

走进调试车间里，研发人员正在调试一种银色圆筒设备——磁悬浮分子泵。这看似普通的装置，被称为半导体制造“真空心脏”的关键设备，在过去完全依赖进口。

前不久，在杭州市科技局组织的媒体采风调研活动中，记者来到了杭州昆泰磁悬浮技术有限公司（以下简称“杭州昆泰”）近距离接触到磁悬浮分子泵。

“可别小看这个不起眼的泵。”杭州昆泰研发总监韩雪笑着说，“它打破了国外企业的技术垄断，实现了我国磁悬浮分子泵国产化率‘零的突破’。”

什么是磁悬浮分子泵？它相当于一种真空获得设备，如同一个“超级清洁工”，将封闭空间里的气体分子快速“清扫”出去，让空间达到几乎没有气体分子的状态。

这与日常生活中，人们使用真空收纳袋的原理有些类似，人们通过手动抽气泵或者电动抽气泵，按压时，使抽气泵内的压力大于收纳袋内气压，从而将袋内的空气强制排出。

而磁悬浮分子泵则是让泵内转子高速旋转，借助分子碰撞和拖曳作用，将气体分子，从真空室的一端输运到另一端，从而实现抽气。

韩雪介绍，在制造芯片过程中，需要将腔体保持极高的真空度。“传统机械泵就像‘油烟机’，轴承中的润滑油会污染芯片；而我们的磁悬浮分子泵就像‘无叶风扇’，可以使轴承完全悬浮，进行无接触运行。”

磁悬浮分子泵主要依赖磁悬浮轴承技术，研究人员利用磁悬浮原理，使得分子泵内的转子，在运转过程中处于悬浮状态，避免了机械接触，减少了摩擦和磨损，从而实现更快的旋转速度。

“要快速抽取真空，叶轮需在高速旋转下保持稳定，这是研发过程中的一大难题。” 韩雪说，叶轮是磁悬浮分子泵里的关键部件，主要用于抽气。叶轮尺寸较大，却要实现每分钟 24000次的高速旋转，对控制要求极高。

为此，团队经过两年的反复迭代验证，最终攻克难题，确保叶轮在高强度旋转下依然保持稳定。

“我们不仅解决了‘卡脖子’问题，还实现了部分性能反超。”韩雪介绍，如KTP-304磁悬浮分子泵抽速达350-570L/s，比国际主流产品高出20%以上，价格却只有进口设备的70%-80%。

在昆泰的展厅里，陈列着各种“磁悬浮+”产品：磁悬浮纺机电机、磁悬浮氢气循环泵、磁悬浮厨电风机……这些创新的背后，离不开团队的努力。

杭州昆泰“脱胎”于实验室，核心研发团队源自北京航空航天大学（以下简称“北航”），公司拥有 80 余人的技术团队，其中博士及博士后共33 人，具备近 20 年的设计、研发及应用经验。

目前除了半导体领域，这项源自北航院士团队的磁悬浮技术，还在科研、精密仪器、工业、氢能源汽车及家用等领域大显身手。

“我们从高校出来创业，对技术钻研较深，但对政策了解有限。”韩雪坦言，“政府各级部门经常来企业调研，主动送来惠企政策，指导项目申报，还积极帮助技术人员解决落户安家问题，让大家能全身心投入创业和技术攻关。”

良好的创业氛围，给企业有了继续向下扎根的信心。“接下来，将继续在原有的基础上，完善产品性能，持续完善产品矩阵，在高端装备自主化的道路上坚定前行。”韩雪表示。

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